超聲掃描顯微鏡CTS-SAM性能及應(yīng)用 制造業(yè)的精密化、集成化與高可靠性發(fā)展趨勢(shì),對(duì)關(guān)鍵材料內(nèi)部細(xì)微結(jié)構(gòu)及缺陷的無(wú)損檢測(cè)提出了的高要求。工業(yè)超聲掃描顯微鏡憑借其非破壞性、深層穿透和優(yōu)異的內(nèi)部成像能力,已成為微觀(guān)質(zhì)量評(píng)估、缺陷檢測(cè)的核心技術(shù)手段?!皢⒑綑z測(cè)科技超聲推出的CTS-SAM超聲掃描顯微鏡在半導(dǎo)體制造、精密器件加工等領(lǐng)域,能夠?qū)O小缺陷進(jìn)行快速、精準(zhǔn)、大批量檢測(cè)的嚴(yán)苛需求。 
超聲掃描顯微鏡CTS-SAM產(chǎn)品介紹 制造業(yè)的精密化、集成化與高可靠性發(fā)展趨勢(shì),對(duì)關(guān)鍵材料內(nèi)部細(xì)微結(jié)構(gòu)及缺陷的無(wú)損檢測(cè)提出了的高要求。工業(yè)超聲掃描顯微鏡憑借其非破壞性、深層穿透和優(yōu)異的內(nèi)部成像能力,已成為微觀(guān)質(zhì)量評(píng)估、缺陷檢測(cè)的核心技術(shù)手段。“啟航檢測(cè)科技推出的CTS-SAM超聲掃描顯微鏡在半導(dǎo)體制造、精密器件加工等領(lǐng)域,能夠?qū)O小缺陷進(jìn)行快速、精準(zhǔn)、大批量檢測(cè)的嚴(yán)苛需求。 超聲掃描顯微鏡CTS-SAM功能特點(diǎn) 系統(tǒng)組成:機(jī)架、高精度直線(xiàn)電機(jī)掃描平臺(tái)、多自由度探頭夾具、水槽、水過(guò)濾循環(huán)系統(tǒng)、高頻脈沖發(fā)生接收儀、遠(yuǎn)端脈沖發(fā)生器、高頻采集卡、電控系統(tǒng)、軟件系統(tǒng)等。 激勵(lì)采用自主研發(fā)的高頻脈沖發(fā)生接收儀CTS-8072PR-500M,突破的壟斷,實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化自主可控。 具有豐富的掃查規(guī)劃功能,能夠滿(mǎn)足多工件規(guī)劃、多掃查面規(guī)劃、自動(dòng)路徑規(guī)劃、示教路徑規(guī)劃、外部路徑規(guī)劃等。 運(yùn)動(dòng)控制功能包括:?jiǎn)屋S點(diǎn)動(dòng)模式、單軸模式、單軸相對(duì)模式、TCP控制模式、運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)校準(zhǔn)等。 掃查功能涵蓋:幅度C掃、深度C掃、多層C掃、穿透C掃,并具有界面波跟蹤功能,實(shí)現(xiàn)界面波補(bǔ)償聲程。 具有C視圖導(dǎo)航功能,可通過(guò)點(diǎn)擊C掃圖的具體像素點(diǎn),將探頭移至與實(shí)際被檢工件相對(duì)應(yīng)的位置。 視圖顯示包括A掃、B掃、C掃、D掃、3D視圖、FFT頻譜分析等,全程記錄A掃波形數(shù)據(jù)和保存全部視圖。 具有全面功能強(qiáng)大的數(shù)據(jù)分析功能,包括: ?X、Y、Z厚度與距離測(cè)量功能:根據(jù)手工圈選的輪廓(圓形,矩形,多邊形)計(jì)算缺陷百分比; ?根據(jù)CAD導(dǎo)入的輪廓模板,計(jì)算百分比; ?自動(dòng)圈選缺陷功能; ?記錄缺陷列表,定位缺陷位置; ?焊合率計(jì)算; ?局部閘門(mén)和閾值功能,實(shí)現(xiàn)可對(duì)C掃圖進(jìn)行加框,修改局部閘門(mén)和閾值; ?提供多種調(diào)色板可選及自定義調(diào)色板導(dǎo)入,切換標(biāo)尺單位,定義色標(biāo)范圍,多種圖層的顯示和關(guān)閉等功能。 啟航檢測(cè)科技(上海)有限公司-無(wú)損事業(yè)部-啟航科技根據(jù)客戶(hù)需求應(yīng)用和需求定制, |